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半导体加工废水处理案例|半导体加工废水处理方法

产品背景图 该半导体材料设备中小公司坐落在长四角的地方,主耍出产85寸大和125寸大晶圆,日减排废出水量约2000吨。因半导体材料设备出产工艺技术繁杂,焦化废液的成分复杂化且内含不同难吸附物品,中小公司原本加工建筑设施尚未需求空前从严的环保节能减排要求,故融资5000万元重建正规焦化废液加工站。 废水处理营养成分及种类 该企业主废水处理方法核心划分成八类: 含氟废气:因素于晶圆蚀刻、洁净工作,氟正离子溶度高达独角兽2000mg/L; 生产生产废水:产自光刻、成像等工艺设计,含异丙醇、二甲苯等生产相转移催化剂,COD值在5000mg/L身边; 腐蚀性废水处理工艺:呈现于清理和接触面处理教学环节,pH值下跌大; 含铜废液:是来自于电渡和合金金属所有艺,铜阴离子酸度约150mg/L。 补救加工流程图 针对性各种不同规定性的生产废水,使用"细分分类整理+分质工作+尾部深层次工作"的组合公式流程: 含氟废气处理线: 有级化学式结晶:先污泥脱水氯化钙调控pH至6-7,加个入PAC和PAM二沉池结晶; 抗逆性氧化反应铝吸附性:确认氟铝离子盐浓度降落到8mg/L以下的。 有机物废液净化处理线: 微电解抛光反响:铁碳活性炭过滤器床预办理提生工业废水可生物化性; UASB好氧菌现象器:HRT=24h,COD彻底清除率65%; MBR膜生物体响应器:选择PVDF弧形棉纤维膜,冒水COD<50mg/L。 腐蚀性废水处理结合整体: 智能pH调结:经过百度在线监控技术仪保持加酸加碱量; 水解酸化池发展:洗去结合会产生的悬屏物。 含铜废渣办理: 化工放置:加药NaOH调试pH至9-10,建立氢阳极氧化铜放置; 亚铁阴离子相互交换:事关铜亚铁阴离子酸度<0.3mg/L。 进一步处理单园: 三氧催化反应脱色:进几步溶解难分离无机物; 催化家用活性炭过虑:清除对比度和微量分析危害物; 分光光度计线空气消毒:切实保障出水出水微生物检测体指数未达标。 结果功能 好项目正常运作后,喷水饮用水质安稳可达到《电子技术工业化水的废弃物尾气直接直接减排标准规范标准规范》(GB 39731-2020)越来越尾气直接直接减排标准规范标准值的要求,这当中氟化物<5mg/L、COD<30mg/L、铜<0.3mg/L。每月可减轻氟化物尾气直接直接减排标准规范约120吨,COD尾气直接直接减排标准规范约400吨,回收公司水市场约5万吨。整体手动化能力高,正常运作价格控制在8.5元/吨水差不多。

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