半导体晶圆划片废水怎么处理方法|半导体晶圆划片废水处理案例
品牌时代背景
该中小型中小型企业的为环球领跑的半导体器件首测中小型中小型企业的,属于广州深圳型国家,一般做高性价比IC芯片的小学划片和封裝测试软件。原因内地环保标准想要严格的,中小型中小型企业的来决定开展工业废水零尾气排放标准工程施工。投资加盟项目于2030年打火,2023-5年6月成立动工,治理占比为200吨/日,总投资加盟约2000W。
污水化学物质及源
这项目的意义小学划片生活污水有下面特别:
高溶度氟化物,通常产于晶圆割孔后的清理道工序,氟铁离子溶度到达150-200mg/L
所含纳米级级硅粉粒状,颗粒直径多在100-500nm内
可挥发加热器端差较高,COD在500-800mg/L
有效进样器高价属如铅、镉等
水的电导率高,通常情况下在2000-3000μS/cm
治理鑫霖环保步奏
为完成零的排放阶段目标,加工的设计重点考虑到工业废水归类抽取和物资回收并:
废水处理工艺区分收集整理软件
:将含氟废污水与其它的废污水分类建立持续
化学反应放置除氟
:采取二级钙盐发展自己法,合作效率发展自己池
中高级氧化物办理
:三氧催化反应硫化化学降解难进行处理生物碳物
膜精炼操作系统
:选用DTRO碟管式反加入,浸提4的倍数为10倍
汽化析出
:MVR机诫蒸汽发生器再进行压缩蒸发掉器操作浓水
潮湿程序
:将凝结盐干澡后为化工业副货品外售
加工处理使用效果
装置使用统计资料屏幕上显示:
氟化物快速清理率>99.9%,留水氟阴离子<1mg/L
COD总出掉率>98%,水流COD<20mg/L
水資源回收分类处理率>95%,仅制造几瓶晶粒盐
每一年可收购高的品质回收利用水约6万吨
成果盐溶解度可达到鑫霖环保级基准,实行资源性化利用率
的项目不只实现了了废水处理工艺零摆放,还完成物资再利用塑造了约80万的大写/年的更多盈利。