半导体芯片加工废水怎么处理|半导体芯片加工废水如何处理
工程项目大环境
该半导体材料制造业企业最靠近长半圆中北部,最主要的产生8英尺和12英尺晶圆,日尾气排放规范规范废供水量约2000吨。可能产生流程繁杂,废水底含有多种不同难降解塑料有机质物和血本属铁离子,老式处置技巧无从提供急剧严谨的尾气排放规范规范规范。
废水处理基本成分及来源于
废污水注意来历于七个重要环节:晶圆裁割废污水含带很大硅粉和裁割液剩余的;化学物质机械化cnc精密机械加工废污水所含电解质溶液硅和碾磨颗粒物;刻蚀进行维护清洁废污水含带氟化物、铜阴阳离子等天价属;光刻新工艺废污水则含带光阻剂等生物碳污染破坏物。土质基本特征是COD高(800-1500mg/L)、氟化物渗透压高(200-400mg/L)、悬停物多且含带进样器天价属。
办理方法步骤流程
适用"物理预处里+生化学处里+纵深处里"的组合起来工艺设计:
调准池均衡教育水的质量蓄水量
水泥混凝土析出取除漂浮物和电解质溶液杂质
生物学凝固法专做正确处理氟化物,添加钙盐组成氟化钙凝固
油脂水解硝化作用池提高了废水处理工艺可血生化性
接触的面积氧化的池吸附充分弄脏物
化学活化炭树脂吸附塔对其进行层次加工
膜提取系统性狠抓有水出地表水可靠
争对含铜工业废水多个设有铁离子更换模式,回笼有价值量的废金属铜。
既定效果好
工程项目起建后行驶固定,水流COD<50mg/L,氟化物质量浓硫酸浓度<5mg/L,铜铝离子质量浓硫酸浓度<0.3mg/L,多种指数公式均强于的国家《電子工業水污染源物进行释放原则》(GB 39731-2020)。第一年可极大减少COD进行释放约300吨,氟化物进行释放约50吨,环保再生资源回收铜黑色金属约2吨,实现目标了情况管理收益与条件管理收益的合作共赢。