该厂为8屏幕尺寸晶圆工作线整套搭配的超蒸馏水软件系统，每周诞生含硅焦化废水150吨。焦化废河中虽无巨资属，但硅含磷量高易积垢，且电阻值率需实现18MΩ·cm能够回收利用。现有加工施工工艺無法提供新颁发的《光电子化工水被固体废弃物废气废水排卸标准规定》（GB39731-2020）尤为废气排卸卫生防护距离。 废液因素亮点 大部分水污物 ：固体硅（200-300mg/L）、颗粒肥料硅（孔径0.1-1μm） 特别让 ：TOC<10μg/L，硼分量<5μg/L 水环境特质 ：低水的电导率（<50μS/cm）但硅化学物质形态特征麻烦 正确处理技术工作流程 全新用到"梯级膜分开+电去铝离子"结合技艺： 微滤预加工 ：1μm淘瓷膜拦阻大颗粒剂硅，通量稳定80LMH 化合物交換光敏树脂 ：D201大孔硅橡胶的记忆性吸附剂硅酸碳原子 中级RO体统 ：一号段收购率60%，第五段选择高脱硼膜pcb板 EDI电去铁离子 ：直流电高密度2A/m²，持续时间剔除残存亚铁离子 红外光谱灭菌 ：254nm红外光谱线服用量40mJ/cm² 技术性短板 开发管理专门阻硅剂（可挥发胺类塑料物），延长时间膜环保问题周期时间3倍 EDI模块图片转型升级流道构思，硅剔除率优化至99.8% 上线硅了解仪（在测量的范围0.1-500μg/L）建立有目的控制 作业预期效果 经3.方查重： 总硅从280mg/L降落到0.05mg/L 硼量从8μg/L降下来0.3μg/L 整体收旧率从原40%提高自己至68% 膜修改的周期变长至5年，年正常运作成本低影响35%