某半导体行业创造企业公司因晶圆清洁工艺流程制造含氨焦化废水,的水量200吨/天。焦化废池中除氟化物外还有氟化物和少量高价属,外理难度很大大。日本废气排放规格的标准氟化物<5mg/L,氟化物<3mg/L。
电镀废水组成及來源
晶圆清晰污废水 (核心來源):含氟化物200-300mg/L,氟化物50-80mg/L
刻蚀工艺流程生产废水:含进样器铜、镍等血本属,pH值下降大
CMP粉磨污水:含硅颗粒剂及氟化物
加工处理制作工艺工作流程
应用"化工悠长岁月中+膜剥离+折点氯化"组合式鑫霖环保:
预净化处理
:加药CaCl2除氟,操纵pH在7.5-8.
反渗透膜设计
:清理0.01μm上粉末物
反融入沉淀
:将化学需氧量精浓至1000mg/L之内
折点氯化
:精密把握氯加药系统量,将高锰酸盐指数变为为氢气
阴阳离子交易
:担保巨资属不合格
结果是感觉
化学需氧量安全稳定<3mg/L,氟化物<1mg/L
高价属分量如果低于论文检测限
水造纸废水处理率达75%
工业废水所产生量变少40%